四フッ化珪素

進化する電子デバイスプロセスを支える高純度特殊ガス

  • 高純度
  • 揮発性

概要

高純度特殊ガスの分野で業界をリードする三井化学は、豊富な合成・分析の技術経験を生かし、より高品位の特殊ガスを提供することで、電子デバイスの進化を支えます。

四フッ化珪素は、高性能光ファイバーの製造用原料として、また半導体製造用ガスとして使用されています。

特性

揮発性

揮発性が強いため、厳重な取扱いが必要となります。

用途

光ファイバー、層間絶縁膜、ドライエッチング剤

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