三井ペリクル

世界をリードするフォトマスク用防塵カバー

  • 光学特性
  • クリーン性

特性

ペリクルの原理

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製品群

KrFエキシマ用ペリクル
ArFエキシマ用ペリクル

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主要メーカー製ステッパーに対応

Nikon Canon ASML

環境への配慮

製品ケースの回収リサイクルの実施

技術サポート体制の完備

取り扱い方法の紹介
品質問題の原因解明および対策
各種分析

三井ペリクルの経緯と今後の計画

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