三井ペリクル

世界をリードするフォトマスク用防塵カバー

  • 光学特性
  • クリーン性

用途

膜材の変遷

膜材の変遷

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無発塵構造

アルミ合金フレーム表面を特殊な粘着材でコーティングすることで、フレームからの発塵を防ぎ、内壁に付着した異物も保持します。
発塵の原因となっていた両面接着テープを使用せず、特殊な接着剤をフレームに直接塗布しました。この塗布型マスク接着剤は、マスクからの剥離およびマスクの洗浄が容易です。

構造図

構造図

構造図

三井ペリクル

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