四フッ化珪素

高純度特殊ガスの分野で業界をリードする三井化学は、豊富な合成・分析の技術経験を生かし、より高品位の特殊ガスを提供することで、電子デバイスの進化を支えます。

四フッ化珪素は、高性能光ファイバーの製造用原料として、また半導体製造用ガスとして使用されています。